国内首套G . 代高迁移率氧化物靶材交付华星光电

去年,先导薄膜材料（广东）有限企业与华南理工大学、广州新视界光电科技有限企业、深圳市华星光电半导体显示技术有限企业、广东省半导体产业技术研究院联手组建了从基础研究到产品应∑　用端 产学研用技术团队。

月 零日,由先Ψ导薄膜材料(广东)有限企业研发 G . 代线镧系稀土掺杂金属氧化物（Ln-IZO）靶材成功交付给华星光电,据先导集团官方消息,这是国内首套G . 代高迁移率氧化物靶材。

图片来源，先导集团

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该团队以华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室曹镛院士团队所开发 新型稀土掺杂金属¤氧化物靶材（Ln-IZO）技术为基础,钢铁现货快讯网报道造访,以先导薄膜 靶材开发与量产制备技术为核心,结合◣材料基础研究、TFT器件工艺技术,开展了“薄膜晶体管用高迁移率氧化物半导体溅射靶材研究及应用”项目。经过反复研发测试,钢铁现货快讯网报道记者,开发出此G . Ln-IZO靶材,交付华星光电上线使用,此为该项目 个重要成果。

该靶材基于华南理工大学发明 薄膜晶体管用高迁移率稀土掺杂氧化物半导体材料,是新 代 TFT半导体沟道层材料,其先进 性能可满足未来超高清显示、柔性№显示对沟道层材料 应用需求。